Στην παρακάτω λίστα αναφέρονται οι δήμοι, οι κοινότητες, τα δημοτικά, κοινοτικά διαμερίσματα και οι οικισμοί της νομαρχίας Δυτικής Αττικής του Νομού Αττικής σύμφωνα με το Σχέδιο Καποδίστριας, που ήταν σε ισχύ μέχρι το 2010.

Τα στοιχεία προέρχονται από επεξεργασία του αρχείου της στατιστικής υπηρεσίας για την απογραφή πληθυσμού (Ελλάδας) του 2001. Ο αριθμός μέσα στα [ ] είναι ο πραγματικός πληθυσμός κατά περίπτωση. Η σειρά είναι (γενικά) αλφαβητική. Νομαρχία Δυτικής Αττικής [ 151.612 ]

-- Δήμος Ελευσίνος --

Δ.δ. Ελευσίνας -- η Ελευσίνα [ 25.863 ]

-- Δήμος Άνω Λιοσίων --

Δ.δ. Άνω Λιοσίων -- τα Άνω Λιόσια [ 26.423 ]

-- Δήμος Ασπροπύργου --

Δ.δ. Ασπροπύργου -- ο Ασπρόπυργος [ 27.741 ]

-- Δήμος Βιλίων --

Ο δήμος Βιλίων έχει (πραγματικό) πληθυσμό 3.215 κατοίκους. Στον δήμο περιλαμβάνονται:

Δ.δ. Βιλίων [ 3.215 ] τα Βίλια [ 1.955 ] η Αγία Παρασκευή [ 3 ] ο Αγιος Κωνσταντίνος [ 6 ] ο Άγιος Νεκτάριος [ 136 ] τα Αιγόσθενα [ 320 ] το Άνω Αλεποχώρι [ 54 ] η Βένιζα [ 88 ] το Κάτω Αλεποχώρι [ 412 ] το Κρύο Πηγάδι [ 21 ] η Λούμπα [ 7 ] ο Μύτικας [ 6 ] ο Προφήτης Ηλίας [ 35 ] η Ψάθα [ 172 ]

-- Δήμος Ερυθρών --

Δ.δ. Ερυθρών -- οι Ερυθρές [ 3.326 ]

-- Δήμος Ζεφυρίου --

Δ.δ. Ζεφυρίου -- το Ζεφύρι [ 8.860 ]

-- Δήμος Μάνδρας --

Ο δήμος Μάνδρας έχει (πραγματικό) πληθυσμό 12.792 κατοίκους. Στον δήμο περιλαμβάνονται:

Δ.δ. Μάνδρας [ 12.792 ] η Μάνδρα [ 10.947 ] ο Άγιος Γεώργιος [ 73 ] ο Άγιος Σωτήρ [ 496 ] ο Άγιος Χαράλαμπος [ 16 ] τα Διόδια [ 174 ] η Θέα [ 62 ] η Λεύκα [ 26 ] η Λούτσα [ 0 ] η Μονή Οσίου Μελετίου [ 25 ] η Νέα Ζωή [ 443 ] το Παλαιοχώρι [ 356 ] το Πουρνάρι [ 174 ]

-- Δήμος Μεγαρέων --

Ο δήμος Μεγαρέων έχει (πραγματικό) πληθυσμό 28.195 κατοίκους. Στον δήμο περιλαμβάνονται:

Δ.δ. Μεγαρέων [ 28.195 ] τα Μέγαρα [ 23.032 ] η Αγία Τριάδα [ 173 ] οι Αιγειρούσες [ 479 ] η Βλυχάδα [ 694 ] η Κινέτα [ 1.972 ] το Κουμίντρι [ 275 ] η Λάκκα Καλογήρου (τ. οι Λάκκοι Καλογήρου) [ 312 ] η Μονή Αγίου Ιεροθέου [ 72 ] η Μονή Αγίου Ιωάννου Προδρόμου [ 80 ] η Μονή Παναχράντου [ 39 ] το Παχάκι (νησίδα) [ 0 ] η Πάχη [ 331 ] η Σπάρτα [ 712 ] ο Στίκας [ 24 ] η Μακρόνησος (νησίδα) [ 0 ] (μετά το 2005 υπάγεται διοικητικά στο Δήμο Μεγαρέων, προηγουμένως ανήκε στη Νομαρχία Πειραιά, δημοτικό διαμέρισμα Σαλαμίνας)

-- Δήμος Νέας Περάμου --

Δ.δ. Νέας Περάμου -- η Νέα Πέραμος [ 7.480 ]

-- Δήμος Φυλής --

Ο δήμος Φυλής έχει (πραγματικό) πληθυσμό 2.947 κατοίκους. Στον δήμο περιλαμβάνονται:

Δ.δ. Φυλής [ 2.947 ] η Φυλή [ 2.891 ] η Μονή Κοιμήσεως Θεοτόκου Κλειστών [ 56 ]

-- Κοινότητα Μαγούλας --

Η κοινότητα Μαγούλας έχει (πραγματικό) πληθυσμό 4.005 κατοίκους. Στην κοινότητα περιλαμβάνονται:

Κ.δ. Μαγούλας [ 4.005 ] η Μαγούλα [ 3.728 ] ο Νέος Πόντος [ 277 ]

-- Κοινότητα Οινόης --

Κ.δ. Οινόης -- η Οινόη [ 765 ]